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    高純氣體管路的設計要點

    2019-12-31 20:40:05 瀏覽次數:
    1、對于不同特性的氣體,要規劃獨立的供應區域,一般分為三個區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區,將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆墻和泄漏口。

     

    2、管路設計要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風險也越高。通常較合理的設計流速為20ml/s,可燃氣體小于10ml/s,獨行/腐蝕性氣體小于8ml/s,在用量設計方面,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,后者使用點的管徑一般為1/4~3/8。

     

    3、根據用氣設備的分布,高純氣體的官網不宜過大或者過長。宜采用不封閉的環形管路,在系統末端連續不斷排放少量的氣體,以便在管網中總有高純氣體流通,不會發生“死空間”引起高純氣體的污染。

     

    4、管路中應減少不流動氣體的“死空間”,不應設有盲管。

     

    5、對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送系統;也可采用同等級輸送系統,但在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。

     

    6、為了檢測高純氣體的純度和雜質含量,輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器,如衡量水含量或氧雜質含量等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質的含量。

     

    7、在亞微米級的集成電路生產中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端勇氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質含量(包括塵粒)控制在規定的數值內,一般在設備前設置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。

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